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PVD-Technologien
Projekt_Mehrkomponentige_Sputtermaterialien
Abscheidung von AlCrSi(W,Ta)N Förderung (Förderzeitraum: 06/2018 – 05/2021) Förderkennzeichen: TI 343/151-1 Projektbeschreibung Dieses Forschungsvorhaben untersucht die Wechselwirkungen von sintertechnologischen [...] and Diffusion of CrSiW for the Use as Sputter Material . Proceedings Euro PM2017, Mailand, Italien, 1.-5. Oktober 2017. W. Tillmann, A. Fehr: Influence Of The W-particle Size On The Densification And Diffusion …