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Dissertationen
Fehr, 2023
Alexander Fehr, 2023 Titel Mehrkomponenten Targets zum Sputtern von AlCr(W, Ta, Si)N-Systemen Autor/Autor Alexander Fehr Verleger Vulkan Verlag GmbH Erscheinungsjahr 2023 Gesamttitel Werkstofftechnologische [...] ische Schriftenreihe ; Band 25 Hochschulschrift Zugl.: Dortmund, Technische Universität Dortmund, 2023 ISBN 978-3-8027-8832-1 Sprache Deutsch Schlagwörter AlCrWSiN, Nanocomposite, pulvermetallurgisches …