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LWT
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Forschung
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Forschungsbereiche
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PVD-Technologien
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Ausstattung
Elektronenstrahlmikroanalyse
(Akishima, Japan) mit vier Spektrometern und sechs verschiedenen Kristallen (PETJ, PETL, LiFL, TAP, LDE1, LDE6). Die WDX-Analyse wird u.a. zur präzisen Bestimmung der chemischen Zusammensetzung von Dünnsc …